超纯水设备用于制备超纯水,具体的原理和步骤大体如下:
1、原水:可以用日常自来水或普通的蒸馏水或普通的去离子水作原水。
2、预处理体系:原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂体系。
3、双级反渗透体系:保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。反渗透膜可滤除95%以上的电解质和大分子化合物,包括胶体微粒和病毒等。鉴于绝大部分离子的去除,使离子交换柱使用年限大大的延长了。
4、EDI体系:EDI的作用是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程,将水的电阻率从0.05~1.0MΩ·cm提高到5~16MΩ·cm。
5、抛光混床:无化学析出的核子级树脂,祛除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质,使水质达到18MΩ·cm以上。
6、终端超滤:可以有效地祛除水里的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套体系最后的防火墙,保障生产出来的高纯水不受二次污染。